一、技術參數
行程范圍：X軸------800 mm
Y軸------1000 mm
Z軸------600 mm
結構型式：活動橋式
傳動方式：柔性齒同步帶+預載荷高空氣軸承
長度測量系統：開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm
機臺：高花崗巖平臺
使用環境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m
溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空氣流量：100 L/min – 120 L/min
整機尺寸：2.0m X 1.5 m X 2.7 m
機臺承重：1000 kg
整機重量：2000kg
探針測量系統：
1．控制軟件：SEREIN DMIS V2.0
2．操作方式：計算機自動控制＋微電腦操縱盒
3．測量不確定度（E）：（3.0+L/300）
二、機械特點
1． 整機設計采用單邊活動橋式結構，該結構緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著了系統的運動性能，了測量及穩定性。
2． 三軸導軌均采用天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，測量過程中良好的溫度穩定性及剛性。
3． 三軸導軌均采用自潔式預載荷高空氣軸承，使運動更平穩，導軌受磨損。
4． 長度測量系統采用英國 RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數接近，從而設備的穩定性。
5． 控制系統采用英國 RENISHAW 的 UCCLITE 高自動控制系統，該系統內嵌32位微處理器，真正實現實時控制。
思瑞測量技術（深圳）有限公司
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