一、技術參數 行程范圍：X軸------500 mm          Y軸------600 mm           Z軸------400 mm 結構型式：活動橋式 傳動方式：柔性齒型同步帶+預載荷高空氣軸承 長度測量系統：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm 機臺：高花崗巖平臺   使用環境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m           溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空氣流量：100 L/min – 120 L/min   整機尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m 機臺承重：500 kg 整機重量：850 kg   控制及探針測量系統： 1．驅動系統：直流伺服電機 (日本) 2．控制系統：Renishaw （英國） UCC 3．操作方式：計算機自動控制 + 微電腦操縱盒 4．控制軟件：Serein DMIS V2.0 5．探測系統：Renishaw（英國）MH20i （標準配置） 6．測量不確定度（E）：（2.8+L/300）μm 二、機械特點 1．  整機設計采用單邊活動橋式結構，該結構緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著了系統的運動性能，了測量及穩定性。 2．  三軸導軌均采用天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，測量過程中良好的溫度穩定性及剛性。 3．  三軸導軌均采用自潔式預載荷高空氣軸承，使運動更平穩，導軌受磨損。 4．  長度測量系統采用英國 RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數接近，從而設備的穩定性。 5．  控制系統采用英國 RENISHAW 的 UCCLITE高自動控制系統，該系統內嵌32位微處理器，真正實現實時控制。