主要用途：為元器件進行高真空、中溫退火處理。消除因點膠、微調等過程中產生的應力。
真空室規格（全不銹鋼材料，牌號：SUS304）
真空室內部尺寸：兩個真空室，每室內部尺寸為 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
內膽尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盤層數：6層。
真空室外壁采用水冷。
主要技術指標
加熱溫度：350℃
工作溫度：室溫至260℃或320℃連續可調，工作時可分階段加熱。每一階段加熱溫度為可設。
溫度均勻性：±10℃
溫：15℃（升溫階段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度時間小于20分種。
工作方式：連續工作，可手動，可自動。
操作方式：觸摸屏。
控制方式：PLC加溫控模塊（松下）
主要配置
主真空室：兩個的真空室，操作。可同時工作也可單獨工作。
真空獲得部分：采用兩級真空泵，級為機械泵（日本真空），第二級為復合分子泵（國產）。
真空閥門：不銹鋼氣動隔斷閥（7臺）。
真空測量部分：采用復合真空計（兩臺），低真空規為熱偶規，高真空規為冷規。
加熱方式：鎧裝電阻絲加熱，每一真空室內分布7組加熱器，每一組加熱絲均可單獨工作；并配8路熱電偶，7路為控溫用，另一路為測試比對用。
控溫方式：PID自動調節，每一層由一的PID控制，每一層目標溫度、輸出功率、PID參數均可單獨設定。
操作方式：觸摸屏，參數均可通過觸摸屏進行查閱。
設備工作環境
設備外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
設備自重：600 kg
電源：3相380V 5線，60A
冷卻水：0.2---0.5MPa，每分種流量10升。
壓縮空氣：0.5---0.8MPa
真空室規格（全不銹鋼材料，牌號：SUS304）
真空室內部尺寸：兩個真空室，每室內部尺寸為 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
內膽尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
器件托盤層數：6層。
真空室外壁采用水冷。
主要技術指標
加熱溫度：350℃
工作溫度：室溫至260℃或320℃連續可調，工作時可分階段加熱。每一階段加熱溫度為可設。
溫度均勻性：±10℃
溫：15℃（升溫階段）
限真空度：2×10-6 托
工作真空度：5×10-5 托，工作真空度時間小于20分種。
工作方式：連續工作，可手動，可自動。
操作方式：觸摸屏。
控制方式：PLC加溫控模塊（松下）
主要配置
主真空室：兩個的真空室，操作。可同時工作也可單獨工作。
真空獲得部分：采用兩級真空泵，級為機械泵（日本真空），第二級為復合分子泵（國產）。
真空閥門：不銹鋼氣動隔斷閥（7臺）。
真空測量部分：采用復合真空計（兩臺），低真空規為熱偶規，高真空規為冷規。
加熱方式：鎧裝電阻絲加熱，每一真空室內分布7組加熱器，每一組加熱絲均可單獨工作；并配8路熱電偶，7路為控溫用，另一路為測試比對用。
控溫方式：PID自動調節，每一層由一的PID控制，每一層目標溫度、輸出功率、PID參數均可單獨設定。
操作方式：觸摸屏，參數均可通過觸摸屏進行查閱。
設備工作環境
設備外形尺寸：1800（W）Х900（D）Х1800（H）mm
設備自重：600 kg
電源：3相380V 5線，60A
冷卻水：0.2---0.5MPa，每分種流量10升。
壓縮空氣：0.5---0.8MPa
