主要技術指標：
? 系統限真空度：進入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空時間：冷態下30分種5×10-
? 設計溫度：600℃
? 工作溫度：常溫到500℃可調。
? 溫度均勻性：±5℃
? 控溫儀：±0.5℃
? 加熱及控制方式：采用鎧裝電阻絲加熱器，并由PID控制。
? 系統啟動2小時內均溫狀態。
? 系統限真空度：進入3×10-4Pa
? 工作真空度：5×10-a
? 抽真空時間：冷態下30分種5×10-
? 設計溫度：600℃
? 工作溫度：常溫到500℃可調。
? 溫度均勻性：±5℃
? 控溫儀：±0.5℃
? 加熱及控制方式：采用鎧裝電阻絲加熱器，并由PID控制。
? 系統啟動2小時內均溫狀態。
