壓電偏轉鏡 壓電偏擺鏡 壓電掃描器 行程120mrad,研生 中國制造 技術

二維納米級光束 壓電偏轉鏡 ║P35系列

P35系列是采用壓電陶瓷驅動的二維納米級精密光束壓電偏擺鏡，壓電偏擺鏡內部使用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構，壓電偏轉鏡采用有限元分析優化柔性鉸鏈結構，緊湊的差分并聯結構柔性導向系統具有的導向，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，偏轉角設計，偏轉范圍達120mrad，擺鏡內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，了壓電掃描器具有的運動控制，定位、分辨率和穩定性可以納米量級，定位穩定時間為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成于光學系統中。可根據用戶需求定制安裝及出線方式。

產品特點：

◆ 緊湊的外形尺寸，結構緊湊，易于集成；

◆ 擺角；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯結構柔性導向系統，具有的導向；

◆ 內置的壓電陶瓷，高性；

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

產品應用：

圖像處理/穩定　　隔行掃描，抖動　　激光掃描　　光束偏擺/穩定　　激光通信　　光過濾/轉換　　納米定位

       遼寧研生科技有限公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、壓電光束偏轉鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高微位移測量系統等幾十個系列產品。

       研生科技的納米級精密定位產品類型豐富，運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結構類型如疊堆式結構、嵌套式結構以及性能更優異的并聯式結構等，定位、分辨率和穩定性可以納米量級，定位穩定時間為毫秒量級，主要技術指標已國際水平，可地替代產品。

       研生科技的產品和技術主要應用于前沿領域科學研究、半導體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學系統、光電子對準與封裝、光學跟蹤與掃描、精密加工、自動化等領域。廣泛服務于各高校、科研院所以及各類制造光學顯微檢測設備、激光加工設備、半導體IC設備、測量/檢測儀器、光電設備、光學儀器、設備、特種精密加工等的裝備制造商。