石墨舟裝片冷卻一體機
主要特點
① 能夠與PECVD石墨舟承載車準確定位；
② 采用SUS304不銹鋼制造，整機結構堅固；
③ 采用GK系列空氣過濾器；
④ 凈化風機噪音小于50dB；
⑤ 工作區域內所工藝的潔凈度。
⑥ PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度;
冷卻功能
1. 能準確的使石墨舟承載裝片定位。
2. 經過濾的潔凈空氣有送風機分散吹向石墨舟，石墨舟快速冷卻。
技術要求：
1. 整個冷卻房采用不銹鋼制作，整個設備堅固。
2. 進入吹風的空氣須經中效過濾網過濾。
3. 吹風機兩臺，左右各一臺，風量1000m3/h。
4. 頂部裝有吸風罩和手動調節閥，可調節風量和風速。
5. 為節電效果，須安裝自控裝置，當小車進入冷卻房后自動啟動，冷卻到規定時間或小車離開冷卻房后自動停止。
6. 為被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘的地腳。
7. 凈化風機噪音小于50dB；每個部位吹到。
8. 光電感應自動吹風，微電腦控制。
