壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)簡(jiǎn)介：壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)是基于壓電現(xiàn)象產(chǎn)生聲駐波的原理而開發(fā)的，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的精密電動(dòng)機(jī)，也稱聲波電動(dòng)機(jī)。與直流電動(dòng)機(jī)相似，具有高分辨率和壓電驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)態(tài)特性。電動(dòng)機(jī)工作時(shí)沒有內(nèi)在磁場(chǎng)和運(yùn)動(dòng)部件，結(jié)構(gòu)緊湊，行程不受限制，能夠直線和旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)所不能匹敵的。壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)可用在從普通環(huán)境到真空環(huán)境的半導(dǎo)體設(shè)備、平面平臺(tái)設(shè)備、光學(xué)纖維制動(dòng)態(tài)元件制造、存儲(chǔ)介質(zhì)制造和測(cè)試設(shè)備、生物醫(yī)藥和制藥、度量衡和的微型數(shù)控等設(shè)備中。壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)，給陶瓷電動(dòng)機(jī)輸入驅(qū)動(dòng)電壓后，壓電陶瓷產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時(shí)發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵(lì)在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，壓擠靠著一個(gè)陶瓷條的陶瓷指尖產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)力，驅(qū)動(dòng)與之接觸的陶瓷條帶動(dòng)直線或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。但沒有驅(qū)動(dòng)電壓的時(shí)候，陶瓷指尖對(duì)陶瓷條的壓力使之在運(yùn)動(dòng)裝置上維持一個(gè)保持力矩，而不產(chǎn)生位移和滯后。
　　壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)）的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)具有如下功能和特點(diǎn)：
　　（1）定位，分辨率可達(dá)1μm，10nm：
　　（2）運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)，10μm/s，250mm/s：
　　（3）標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs：
　　（4）整定時(shí)間明顯一般伺服電動(dòng)機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，1～2ms，為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10：
　　（5）定位后沒有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問題：
　　（6）重量輕，體積小：
　　（7）行程無(wú)限制