一、 系統特點：
■ 非接觸測量，避免對被測樣品造成損傷。
■ 采用傳感器，測量數據的精準性。
■ 采用采集卡數據采集的準確及穩定性。
■ 采用主機配以強大的控制軟件對數據進行精準計算和分析。
二、 技術指標：
n 測量尺寸：
n 探頭X/Y軸定位分辨率：±2μm
n 探頭Z(垂直)軸定位分辨率：±0.2μm
n 被測基片厚度范圍：50μm～500μm
n 測量：0.5μm
n 測試分辨率：0.1μm
n 測試速度：1片/30S
三、 設備外形：
約：
四、 輸入源：
電源：AC 220V 50Hz 功率： <500W
真空：-100KPa
