MF管道式工業氣體質量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣/氫氣/天然氣等干凈氣體流量計，主要用于半導體、化工、冶金、空氣分離、機械制造等生產線上氣體消耗的內部結算；化工行業的生產過程用氣的控制測量；冶金、機械制造行業中用于焊接燃燒氣體的計量；食品行業中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。
　　
　　工作原理　
　　MF系列工業氣體質量流量計采用熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體流量，由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，所以它所測的數據為質量流量。
　　
　　不同于傳統的“熱傳感器”方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質量流量（風速式熱質量流量原理），MF5000微管氣體質量流量計采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。MF5000微管氣體質量流量計的熱源十分微小，幾乎不需要時間進行加熱。傳感器在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會因此引起氣體對流而導致點變化。所以，MF5000微管氣體質量流量計具有短的響應時間和優良的點穩定性。
　　
　　產品特點
　　1、采用微機電系統芯片作為傳感器，流量計的靈敏度高同時具有良好的點穩定性；
　　2、單個芯片上實現多傳感器集成，使該流量計的量程比大于100：1；
　　3、和傳統的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，大的降低了能源消耗；
　　4、采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數方便；
　　5、本流量計帶有RS-485通訊模塊，配合計算機網絡可實現集中管理；
　　6、可以選配4-20mA　DC電流信號輸出；
　　
　　技術指標
　　量程比  ＞100：1
　　  ±（1.0＋0.15FS）%；±（1.5＋0.15FS）%
　　重復性  ±0.5%
　　工作壓力  ＜2.5MPa　2.5-4.0MPa為定制產品
　　環境溫度  -10-55℃
　　介質溫度  -20-60℃
　　濕度  ＜95%RH
　　LCD顯示  累積流量（0.。999Nm3），瞬時流量（0.000-999999.999Nm3/h）
　　供電電源  8-24VDC
　　校準條件  空氣，20℃；101.325kPa　可根據用戶要求進行實際介質標定
　　材料  不銹鋼
　　連接方式  法蘭
　　數據存儲  可自動存儲數據
　　通訊方式  RS485
　　輸出信號  4-20mA；脈沖
　　護等級  IP65
　　爆等級  ExiaII4　
　
　　MF管道式工業氣體質量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣/氫氣/天然氣等清潔氣體的流量，主要用于半導體、化工、冶金、空氣分離、機械制造等生產線上氣體消耗的內部結算；化工行業的生產過程用氣的控制測量；冶金、機械制造行業中用于焊接燃燒氣體的計量；食品行業中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。