KOSAKA LAB ET 150

微細形狀測定機（探針接觸式臺階儀）

株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創立的公司，也是日本家發表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。

設備特點：

KOSAKA ET 150基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高表面形貌分析應用。ET 150能可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET 150配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

規格

一、測定工件：

1.工件尺寸：φ160mm

2.工件厚?：48mm

3.工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定范圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3.測定?：min.1mgf,max.50mg

4.觸針半徑：2 μm

5.驅動方式：直動式

6.再現性：1σ= 1nm

三、X軸(基準軸)：

1.移動量(測長)：100mm

2.移動的真直?：0.2μm/100mm

3.移動,測定速?：0.005~20mm/s

4.線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1.移動量：50mm

2.移動速度：max.2mm/S

3.檢出器自動停止機能

4.位置決定分解能：0.1μm

五、工件臺：

1.工件臺尺寸：φ160mm

2.機械手動傾斜：± 2℃(±５mm/160mm

?、工件觀察：max.110倍(可選購其它高倍?CCD)

七、床臺：材質為花崗巖石

八、防振臺(選購)：?地型或桌上型

九、電源：AC100V±10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D440×H630mm, 120kg