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上海萊瑟光譜儀器分析技術(shù)有限公司

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電鏡能譜一體化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔小巧

Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對(duì)臺(tái)式電鏡設(shè)計(jì)的，本著臺(tái)式電鏡簡(jiǎn)單易用，售后無(wú)憂的宗旨，Phenom ProX的能譜儀EDS 系統(tǒng)完全嵌入在電鏡主機(jī)中，利用半導(dǎo)體制冷，無(wú)需額外冷卻系統(tǒng)。下圖是傳統(tǒng)電鏡能譜儀系統(tǒng)與Phenom ProX的對(duì)比圖

Phenom-World電鏡能譜一體化Phenom ProX

快速得到樣品表面形貌和元素含量
步：利用成像模式得到高分辨率的照片，背散射電子給出豐富的成份像，雜質(zhì)一目了然	第二步：如果需要分析元素含量，瞬間切換到成份分析模式，點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域，立刻給出定量定性分析元素名稱和含量分布

5kV，10kV，15kV 三檔加速電壓
Phenom ProX提供三檔加速電壓，用戶可根據(jù)樣品類型和測(cè)試目的，靈活切換
5kV ：血液絕緣體直接觀測(cè)模式適合對(duì)電子束敏感的樣品	10kV：電路板分辨率模式適合絕大部分樣品	15kV：電路板元素分析模式 X射線特征譜線更明顯

表面形貌和成分信息同時(shí)展現(xiàn)
背散射電子的產(chǎn)率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關(guān)。Phenom（飛納）采用4分割半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，為您提供兩種成像模式，模式之間可迅速切換：
? 成份模式：同時(shí)給出樣品表面形貌與成份信息，不同元素可由其灰度對(duì)比度的不同加以分辨
? 形貌模式：去除成份信息，樣品表面凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰，適用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式 4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加	形貌模式 4分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相抵消

成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息	形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征

樣品杯，30秒快速成像
Phenom（飛納）樣品杯、低真空設(shè)計(jì)、的真空封鎖技術(shù)，裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像，耗時(shí)僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右。

直接觀看絕緣體，無(wú)需噴金

Phenom（飛納）采用低真空技術(shù)，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的電子中和，有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生，直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品（如下圖所示）。
利用降低荷電效應(yīng)樣品杯，更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右，而且不會(huì)影響燈絲壽命，下圖頭發(fā)示例：

操作簡(jiǎn)便，全程導(dǎo)航
	? 自動(dòng)/手動(dòng)聚焦	Phenom（飛納）操作界面。通過(guò)點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口，方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。
	? 自動(dòng)/手動(dòng)亮度
	? 自動(dòng)/手動(dòng)對(duì)比度
	? 自動(dòng)燈絲居中調(diào)節(jié)
	? 自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)
	? 光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航

			光學(xué)導(dǎo)航，所有待觀測(cè)樣品盡在視野之中，高倍下準(zhǔn)確切換樣品，只需點(diǎn)擊感興趣樣品，即可自動(dòng)移動(dòng)到屏幕中央
			低倍SEM照片導(dǎo)航，導(dǎo)航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測(cè)窗口的觀測(cè)區(qū)域，點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域，自動(dòng)移動(dòng)到樣品中央。

長(zhǎng)壽命/高亮度/低色差 CeB6 燈絲
Phenom（飛納）采用逸出功為2.5eV的CeB6燈絲，其亮度為鎢燈絲的10倍，出射電子色差小，為您提供更高質(zhì)量的圖像，其使用壽命長(zhǎng)達(dá)1500小時(shí)，為鎢燈絲的10倍，可正常使用1-3年無(wú)需更換燈絲，免去了您頻繁更換燈絲的麻煩，保證工作進(jìn)度。

環(huán)境適應(yīng)性高，完全防震

Phenom（飛納）可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無(wú)需超凈間。采用燈絲、探測(cè)器、樣品臺(tái)相對(duì)一體化的設(shè)計(jì)，震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使Phenom成像不受震動(dòng)影響，可放置在較高樓層。