美國MKS1179A氣體質量流量計MKS1479A質量流量計MKS2179A質量流量計MKS1559A質量流量計

美國MKS1179A質量流量控制器（通用型）
1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質量流量控制器，1179A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其為全量程的1%。
技術參數：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100% 的全量程。
測量：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.

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美國MKS 2179A質量流量控制器（帶截止閥）

 

2179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。

常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的泄漏量僅為4 x 10^-9 scc/sec（He）。它具有數字和模擬兩種模式，其為全量程的1％和讀數的1％。2179A具有很小的功耗：在常規直流±15V供電工作時，單元電流僅有100mA（在初開機階段為200mA）。

 

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