| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 韓國SNU |
| 型號 | SIS 2000 |
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數字信號處理器：實現測量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、震、壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。技術參數
機型 | SIS 2000 | |
工作臺 | 尺寸 | 350mm×350mm |
傾斜度 | &plun;3° | |
測量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z軸行程 | 100mm | |
運動方式 | 自動，馬達驅動 | |
掃描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD，640×480像素 | |
物鏡安裝架 | 手動5個位移的可定位夾具 | |
鏡頭選配 | 鏡頭：5×、10×、20×、50× | |
2、半導體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工附件水準測量器、旋轉臺、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等