類型	白光干涉儀	品牌	SNU
型號(hào)	SIS 2000	品種	其他干涉儀
測(cè)量范圍	200×200×100（mm）	測(cè)量分辨率	0.1nm
用途	TFT產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、MEMS、高校科研、精密加工

基本信息

品牌：	SNU	型號(hào)：	SIS 2000	操作方式：	自動(dòng)
功能：	檢測(cè)、觀察、分析	：	1nm
其它型號(hào)：	SIS 1200

產(chǎn)品介紹    白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),，為韓國(guó)SAMSUNG指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂(lè)部成員，清華大學(xué)，臺(tái)灣大學(xué)，爾大學(xué)友好合作伙伴。產(chǎn)品特點(diǎn)1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、震、壓。
8、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)

機(jī)型		SIS 2000
工作臺(tái)	尺寸	350mm×350mm
	傾斜度	&plun;3°
測(cè)量行程		X:200mm  Y:200mm
Z軸行程		100mm
運(yùn)動(dòng)方式		自動(dòng)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD，640×480像素
物鏡安裝架		手動(dòng)5個(gè)位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

應(yīng)用領(lǐng)域1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工